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什么是压力传感器

TIME:2020-08-18   click: 487 次    编辑:南宁棋牌游戏    当前栏目:行业资讯

Description:░什么是压力传感器力敏传感器是使用最广泛て的一种¥传感器,它是检测气ぷ体、液体、固体等所有物质间作用力能量的总称,也包括测量高于大气压的压力计以及测量低于大气压的真░,本文发布时间:2020-08-18,关于【什么是压力传感器】的文章内容即将呈现,预计花费您352秒时间

  什么是压力传感器

  力敏传感器是使用最广泛て的一种¥传感器,它是检测气ぷ体、液体、固体等所有物质间作用力能量的总称,也包括测量高于大气压的压力计以及测量低于大气压的真空计。力敏传感器的种类甚多、传统的测量方法是利用弹性元件安卓棋牌游戏手机版下载的形变和位移来表示っ,え但它的体积大、笨重、输?出×非线性。随着微电子技术的发展,用▓半导◇体材料的◆压阻效应◆和良好的弹性,◇研▲制出半●导体力敏传感器,主要有硅压阻式和电容式两种,它们◎具有体积小、重量轻■、灵敏度高等优点,因此半导体力敏传感器得到广泛应用。当对円一块半导体在某一晶向上施加应力时,其电阻率会产生一定的变化。这种导体电阻率ぱ变化┽和应力之间的相互关系称▽为半つ导体压阻效应,利用此效应制成的▇力学量传感器称为压阻式力敏传感器,它有两种类型,一类是将半导体应变计粘贴在弹性元件上制成的传感器,ぁ称为粘贴型压阻式传感器,另一类是在半导┿体材料的ぅ基片上用集成电路工艺制成的扩ひ散电♂阻,使应变计与硅衬底形▃▂成同一整体的传感器,称为扩散型压阻式传感 器。ゐ

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  粘贴型压阻式力敏传感器由四只半导体应变片℉接成全桥形式,用粘合剂贴在弹ぜ性元件上构成,它具有很高的▼应变灵敏系¢数,一般为20~20☆0,因此输出高,输出灵敏度一般为15~0おmV/V,但易发生零㊣点漂移与蠕变,同时还存在半导体应变片和弹性?元件热せ膨胀所带来的&温度漂移等影响。扩散型压阻式力敏传★感器大都采用单晶硅和半导体平面工艺制成的。一般以N 型硅为衬底,采用氧化、扩散等工◢艺将硼原子沿给定的晶向↑扩散到n 型硅衬底材料中,形→成P 型扩散层。结果硼扩散区便形÷成应变电阻,并用衬底形成一个整体,当它受到压力作用*时ず,应变电阻发を生变化,从而使输出发生变化。压阻式力敏传感器有【】灵敏度高、精度高、体积小、重量轻、工棋牌游戏ご作频率高、结构■简单、工作可靠、寿命长等特点。

  电容式力敏传感器近く来得到了迅速发展,这种传感器的核心∷部分是对压力や敏感的电容器。力敏电容器的电容量是由电极面积和两个电极间的距离决い定。当硅膜片两存在压力差时,硅膜片产生形变,电容器极板间的间距发生变化,从而引起电容量的变化。这样,电容变化量与◤压差有关,▍▎因此,就可作为力敏传感器。它与压阻▁式力敏传感器相♀比,具有灵敏度高、温度稳定性好、压力量程大等特点ぢ。表5-1 是★按工作原有理对力敏传感器进行分类,本章主要わ介绍半导体应变片构成的力敏传感器的应用技术。

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